中国半导体弯道超车！全球首条6/8英寸氧化镓量产：领先国外至少3年

膜厚均匀性方差低于1%，中国至少

配合超薄衬底加工技术，半导该产线产出的体弯条英外延片厚度超过10微米，本次产线投产正式推动氧化镓从实验室研发迈入商业化批量供货阶段。道超杭州镓仁半导体近日宣布，车全寸氧这标志着我国第四代超宽禁带半导体材料实现规模化量产重大突破。球首镓仁半导体一举打通了单晶生长、化镓高压电网、量产领先晶体缺陷密度大幅优化。国外

在此之前，无需新建专属产线。自研铸造法可稳定生长超厚氧化镓晶体，

首批6英寸（100）面氧化镓同质外延晶圆已同步交付国内头部晶圆厂开展器件试样验证。这条兼容产线可直接复用国内现有成熟晶圆制造设备，单块晶体的出片量提升至传统工艺的3到4倍。部分合作客户已开展长期稳定采购。技术水平领先海外同类方案至少三年。

8英寸工艺已同步完成技术验证并预留扩产空间，日盲紫外探测等高端场景。

同质外延晶格完美匹配衬底，

目前多家海外企业及科研机构已陆续下单，

工艺数据显示，特高压等领域大批量工业化制造需求。大幅减少贵金属铱的消耗。该产线已成为全球唯一具备6英寸氧化镓同质外延稳定供货能力的产线。可充分释放氧化镓超高耐压、制造成本居高不下，

小尺寸晶圆单批芯片产出少、

氧化镓适配800V车载快充、

7月6日消息，全球氧化镓产业长期受限于2至4英寸小尺寸产能瓶颈，

技术层面，衬底加工到同质外延的全流程量产链路。海外厂商无法实现6英寸及以上同质外延商业化供货。